近年の高解像度有機ELおよび液晶ディスプレイ製造では、欠陥検出およびプロセス制御をより重視する必要があります。アプライド マテリアルズによる世界初のインライン電子ビームレビュー（EBR）装置は、半導体走査型電子顕微鏡検査（SEM）を、AKTの大規模真空プラットフォームに統合しています。
ディスプレイ用に現在使われているインライン自動光学欠陥検査ツールは、キラー欠陥かそうでないかを区別する、または欠陥のシステム上の根本原因を判断するのに、走査型電子顕微鏡（SEM）分析ほど有効ではなく、ディスプレイに関してSEM分析を行うには、ガラス基板を破砕し、...
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