低温ポリシリコン（LTPS）トランジスタの製造は、アモルファスシリコン（a-Si）および酸化物半導体トランジスタの製造より複雑であり、追加の工程やプロセスを必要とします。
プラズマCVD装置のApplied AKT-PXファミリーは、1.6～5.7m2（第5世代～第8.5世代）のガラス基板に、均一性の高い低温ポリシリコン（LTPS）膜を成膜します。低温ポリシリコン技術は、有機ELディスプレイ（AMOLED）...
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機械的な動作が非常に小さいAKT EBT TFTアレイ検査装置は、高い信頼性、短いダウンタイム、低いランニングコストを実現します。電子ビームアレイ検査装置は、複数の平行な電子ビームを使い、高速で広範囲のビーム位置決めを行い、高いスループットを達成します。...
