APPLIED SMARTWEB™
フレキシブル・エレクトロニクスおよび光学多層膜向けのロール・ツー・ロール・スパッタ成膜システム
- 研究開発から生産までの完全な拡張性
- ウェブ幅は400mm（SmartWebTM SL）から1400mm（SmartWebTM XL）まで
- 単一パスで3（SmartWebTM SL）から12（SmartWebTM XL）の蒸着源
- 平面式および回転式カソード、DCおよびACプロセス
- 優れた成膜品質
- インライン計測
- 基板ロールの迅速なロードおよびアンロード
- 低い管理コスト
