APPLIED SMARTWEB™フレキシブル・エレクトロニクスおよび光学多層膜向けのロール・ツー・ロール・スパッタ成膜システム研究開発から生産までの完全な拡張性ウェブ幅は400mm(SmartWeb SL)から1400mm(SmartWeb XL)まで単一パスで3(SmartWeb SL)から12(SmartWeb XL)の蒸着源平面式および回転式カソード、DCおよびACプロセス優れた成膜品質インライン計測基板ロールの迅速なロードおよびアンロード低い管理コスト‹›