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APPLIED TOPCOIL™

誘導加熱るつぼに基づく蒸着システム

TopCoil™プラットフォームは、誘導加熱るつぼ技術によって、アプライド マテリアルズの蒸着製品群を補完します。これは、厳しい低欠陥パフォーマンスを要求する用途向けのソリューションであり、幅広い材料を成膜することもできます。

  • TopCoil™は、誘導加熱るつぼによる従来の(食物)パッケージングの他に、幅広い用途に対応しています
  • ウェブ速度に大きな影響なく、ほとんどピンホールがなくなり、層の均一性も改善されます
  • TopCoil™は、Al、Zn、Ag、Cu、Cr、ZnS、酸化物など、様々な金属や金属酸化物を蒸着できます
  • 革新的なインダクター・デザインによって、蒸着源が互いにより接近し、干渉が減ります
  • 10~14m/秒まで高速化した安定なプロセス