アプライドは、フレキシブル・バリア市場向けパッケージなどの用途に幅広い量産向け装置を提供し、しています。ロール・ツー・ロール・ウェブ・プロセスによって、真空内でフレキシブル基板上に金属、酸化物、または透明バリア層を形成します。これらのプロセスには、電気加熱セラミック・ボートによる蒸着、誘導加熱るつぼ、電子ビーム蒸着、またはスパッタ堆積が含まれます。
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アプライドの高出力電子ビーム蒸着によって、様々な金属や酸化物を蒸着できます。このプロセスは、すべての真空成膜プロセスで最高の成膜速度を実現します。膜厚の高い均一性には、横方向と縦方向の両方に、閉ループのインライン制御システムが必須です。ESCOSYS™...
TopCoil™プラットフォームは、誘導加熱るつぼ技術によって、アプライド マテリアルズの蒸着製品群を補完します。これは、厳しい低欠陥パフォーマンスを要求する用途向けのソリューションであり、幅広い材料を成膜することもできます。
有機トップコーティング向けの2つの高度なAlOxプロセスおよびオプション
最大毎秒20メートルの成膜速度を誇り、無比の生産性および多数のデザイン賞に輝くTopMetは、エンジニアリングにおいて真に卓越しています。60年を超える経験を持ち、世界中で700件を超えるシステムを設置してきた、アプライド マテリアルズのウェブ成膜製品は、ロール・ツー・...