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APPLIED HEADSMART®

APPLIED HEADSMART®
적합한 부품의 정확한 헤드

HeadSmart는 세정, 부품 교환, 재조립, 검사를 통합하는 Total Kit Management® CMP 헤드 리빌드 서비스입니다. HeadSmart를 통해 최고 품질의 CMP 헤드 리빌드를 수행하여 장비 성능을 향상시킬 수 있습니다.

  • 비용 예측이 가능한 고정 가격 통합 솔루션
  • 귀중한 공간을 절약하는 오프사이트 헤드 리빌드
  • 헤드 성능의 더 조밀한 분포에 따른 비용 예측성 향상
  • 모든 폴리싱 헤드가 장비에서 이동하기 전에 종합적인 멀티포인트 인증 수행

  • (1) 어플라이드 머티어리얼즈 인증 OEM 부품 그리고 (2) 고객별 부품 번호와 교환 주기를 사용하여 각 헤드에 대해 맞춤 작성한 부품표
  • 어플라이드 모범 사례 및 지식 네트워크에 대한 접속 권한
  • 모든 부품 재조립은 어플라이드 BKM을 준수
  • 팹 입출고 운송

CMP 리테이닝 링을 생산 준비 상태로 만드는 옵션 애드온 서비스인 QuickStart™와 결합된 이 솔루션은 헤드 번-인 및 테스트를 포함하며, 장비 가용성을 최대 5% 높일 수 있습니다. 이 프로그램은 또한 (1) 초기 헤드 고장을 줄이고 (2) 헤드 성능의 더 조밀한 분포에 따른 성능과 비용의 예측 가능성을 향상시켜 MWBR(Mean Wafer Between Repair)을 > 50% 향상시킬 수 있습니다.