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APPLIED TOPBEAM™ 2450/2850系统

用于特殊透明阻隔膜与优质装饰应用的电子束蒸镀系统

应用材料公司的高功率电子束蒸镀系统可以蒸镀多种不同的金属与氧化物。此工艺提供所有真空镀膜制程中最快的涂覆速度。为了达到较高的涂覆均匀度,横向和纵向都必须要有一个闭环在线控制系统。与在线测量系统相结合的ESCOSYS™系统就满足了这个需求。

  • 独特的高功率电子束制程,适用于种类繁多的镀膜材料,如各种金属、多重膜层或诸如氧化硅等氧化物,涂覆宽度高达2,850毫米
  • 适用于诸如包装应用的最优质透明阻隔膜层
  • 获得专利的ESCOSYS™在线生产控制系统