应用材料公司提供各种通过卷对卷镀膜工艺在真空环境中将金属、氧化物或透明阻隔膜层沉积到柔性基膜上的设备,适用于面向于包装及其他应用的柔性阻隔市场的大批量生产。这些卷对卷工艺包括电加热陶瓷蒸发舟蒸镀、感应加热坩埚蒸镀、电子束蒸镀或磁控溅射沉积。
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应用材料公司的高功率电子束蒸镀系统可以蒸镀多种不同的金属与氧化物。此工艺提供所有真空镀膜制程中最快的涂覆速度。为了达到较高的涂覆均匀度,横向和纵向都必须要有一个闭环在线控制系统。与在线测量系统相结合的ESCOSYS™系统就满足了这个需求。
TopCoil™平台让应用材料公司的感应加热坩埚技术蒸镀组合更加完美,是针对需求强劲、低缺陷应用的解决方案,并能够沉积多种材料。
适用于有机表面涂覆的两种先进氧化铝制程与选项
TopMet系统的涂覆速度高达每秒20米,具有无与伦比的生产效率并获得众多设计奖项,代表着工程界真正的卓越性。应用材料公司在卷绕镀膜产品的研制方面具备60多年的经验,并已在世界各地安装了700多套系统,是卷对卷真空镀膜及金属化解决方案市场的领导者。