此系統系採用 VIISta 高電流離子植入平台經生產驗證的單晶圓架構,為能量純化、均勻度以及角度和劑量率控制建立全新標準,提供高產能和最高生產力,符合先進的節點需求。
Trident 平台結合雙磁鐵帶狀束流架構和創新的能量純化模組 (EPM),...
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應用材料公司 VeritySEM 產品系列最新 VeritySEM 5i CD-SEM 系統具備獨一無二的內嵌三維功能,可為 1x 奈米節點及以上的邏輯和記憶體元件進行大容量量測。這套全新系統運用市場領先的 SEMVision® G6 核心技術,...
在 65 奈米以下的技術節點,由於傳統批次高能量植入機的限制,於高能量製程中造成元件效能問題。為達到新生代元件製造所需的精準角度控制、劑量控制以及生產力要求,就必須採用單晶圓架構。VIISta 3000XP 高能植入機亦非常適合用於支援中電流植入機系統。
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新系統採用微粒數量的表現經世界級認證的 VIISta 平台光束線架構。濾器磁鐵能在源頭就移除不需要的植入物。三磁鐵架構可提供最潔淨的中等電流系統光束線,在離子束到達晶圓前有效地去除所攜帶的金屬、微粒、交叉物和污染物。系統採用獨特設計,將垂直角度與波束形狀控制相結合,...
可重複的精確植入角度控制對於大量製造先進元件的精密摻雜至關重要。 Varian 定位系統 (Varian Positioning System,VPS) 可確保全應用封包的控制程度。
VIISta 900XP 具備業界中最乾淨的光束線。...
創新的雙磁鐵帶狀波束架構可改良光束線傳輸、晶圓的束流運用以及波束電流輸出。
在植入極源反應室和光束線元素中,VIISta HCP 的雙磁鐵帶狀波束架構可將晶圓與由沉積和波束撞擊所產生的微粒隔離。
VIISta HCP 可使用閉迴路 Varian...
The Applied SmartFactory Yield Management System is a fab-wide solution that loads, pre-aligns, and analyzes all yield relevant data to...
Baccini Soft Line設備平台為一整合系統擁有高度自動化及多項創新網版印刷技術,能夠實現超薄矽晶圓的大規模生產,並保持<0.2%的破片率和>97%的系統可用時間。Soft Line系統每小時機械傳輸量達1440片,單位小時淨產出量達1250片,...
應用材料公司PECVD(電漿化學氣相沉積)5.7系統可以在5.7平方公尺的玻璃基板上沉積矽薄膜發電層,製造出全世界最大的薄膜太陽能電池。PECVD 5.7系統源自應用材料公司領先群倫已用於TFT-LCD(薄膜電晶體液晶顯示器)生產的AKT設備系統,...
Technology Enabled Services(技術整合服務)是整合的先進服務解決方案,旨在以更低的成本實現更高的設備效能、更好的正常運轉率與更高的良率。這些技術整合服務結合了可高度客製化的傳統支援服務與先進科技(軟體、感應器及控制機制),...
Applied Performance Service(應用材料效能服務,APS)或是針對應用材料公司製造的設備,提供最全面性的服務解決方案。APS 產品提供最高 7 天 24 小時全面性服務,並可對特定設備效能作出承諾,例如以可提供成本估算,...
我們的標準服務方案有專業人員為您提供支援,他們會回應系統故障,開展設備維護並防止意外事件發生。若使用標準全面性服務套件,我們的應用材料認證工程師可利用應用材料服務專家網絡協助解決問題,並且使用應用材料高品質零件。
Applied Managed Service(應用材料管理服務,AMS)可滿足晶圓廠的修正性與預防性維護需求,並進而提升工廠營運效率。我們有「取決於供應商的正常運作時間」(SDUT) 承諾,還有專業工作人員可幫助您改善設備效能。對於非消耗性零件的優先支援與即時故障回應,...
若客戶希望以簡單方式維修損壞零件、節省最多成本,我們的認證翻新 (Certified Refurbishment) 服務是完美的解決方案。使用認證翻新服務,損壞的零件將在約定的時間內完成維修並歸還給您。這套封閉式服務包含在製程中發揮關鍵作用和非關鍵作用的零件,...
無論是在全球移動單一離線設備,或是搬遷整座半導體晶圓廠,如何確保按照預算一次性準時完成遷移工作?我們的遷移專家訓練有素,從原有工廠的設備拆卸,到目的地工廠的重新安裝,能幫助您成功完成大大小小的搬遷專案。
維持最能發揮貴廠生產設備所需的準確庫存。FPM 利用應用材料公司的全球供應鏈基礎設施和庫存,專門針對您的運營需求來提供特訂的零件支援服務。FPM 的好處是更能保證供貨以及更有效利用庫存,進而為客戶節省成本。
應用材料預防性維護 (PM) 服務協議(以應用材料標準服務或在保固期內作為附件提供)會提供您需要的專業、效率與正常運轉率,確保您的應用材料設備能保持最佳效能運作。
我們的高價值維修 (Value Repair) 服務是另一項零件更換方案,負責託管客戶庫存並管理客戶的維修件更換。不過,此服務主要是針對製程的關鍵零件。對於這類關鍵零件,高價值維修方案確保只從我們維修中心庫存中為您託管的維修零件庫中提取維修好的零件,快速更換損壞的零件...