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應用材料公司致力於設計效能最佳的產品,同時減少浪費、保護自然資源並以負責的方式來使用能源。我們秉承這個理念提供潔淨室下層解決方案,可實現最高效率、降低成本,並有助於創造更潔淨、綠色的環保世界。
我們獨特的控制系統和預泵浦廢氣處理技術可減少環境影響,並符合 EPA 關於溫室氣體排放的報告法規。
應用材料公司的 Aeris™-G 系統是採用泵前電漿式廢氣處理解決方案,相比泵後廢氣處理裝置,此方案所處理的實際製程氣體量更少且濃度更高,因此使用的能量更少。在廢氣處理過程中,由於 Aeris-G 反應室中較低的氮容量,加上電漿分解,最多可將氮氧化物 (NOx)...
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Designed to treat the “dirtiest” applications, the Aeris-S operates by converting problematic materials into compounds that can be...
Aeris-Si 是下層前級管道清潔的整合解決方案,可用來管理二氧化矽負載並延長泵浦的使用壽命。該解決方案能達到高流量正矽酸四乙酯 (TEOS) 製程,實現最高沉積速率和產能;同時,泵浦的使用壽命可從 1 個月延長至 12 個月甚至更久,不到 1 年即可收回投資。...
While monitoring tool operation, the Applied iSystem controller collects valuable data that can be used to generate resource consumption...