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電子ビームレビュー

近年の高解像度有機ELおよび液晶ディスプレイ製造では、欠陥検出およびプロセス制御をより重視する必要があります。アプライド マテリアルズによる世界初のインライン電子ビームレビュー(EBR)装置は、半導体走査型電子顕微鏡検査(SEM)を、AKTの大規模真空プラットフォームに統合しています。

自動プロセス検査(API)と限界寸法(CDs)計測により、非常に難易度の高いプロセスコントロールも可能になります。精密ステージ、自動欠陥解析(ADR)を搭載し、自動光学的検査(AOI)に基づき欠陥を登録し、エネルギー分散型X線分析(EDX)を使い重大な欠陥の根本原因を突き止めます。半導体における歩留まり法であるインラインSEMの導入により、フレキシブル有機ELディスプレイの歩留まりを向上し、世界最大の基板による液晶ディスプレイの歩留まり改善を加速します。