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AKT® NEW ARISTO™ FULL DYNAMIC PVD システム

AKTの縦型スパッタリング装置NEW ARISTOは、優れた膜厚均一性と、業界最高のスループットを提供します。自動ロード、アンロード機能および弊社の特許取得済みキャリア搬送システムによって、サイクル時間を大幅に短縮することができます。NEW ARISTOは、先進のロータリー・カソード技術を採用し、従来の平板ターゲットより優れたターゲット使用効率、優れた膜質と高いパーティクル制御を提供し、高い生産歩留まりを可能にする革新的で市場で実証された装置です。モジュール式のコンパクトなドア・コンセプトにより、プロセス変更に柔軟に対応することが可能で、投資の安全性を高めます。規模の経済により拡大していったディスプレイ産業の数十年におよぶ歴史において、NEW ARISTOは大型サイズ用のカラーフィルター向け量産装置として標準的な装置となっています。

NEW ARISTOは大型テレビ量産用の第11世代まで、あらゆる世代のガラス基板に対応しています。

お客様のご要望により、ITO、IGZO、金属などの単層膜のみならず、多層の光学酸化膜層の成膜にも対応します。

NEW ARISTO VRシステムに加え、NEW ARISTO TWINシステムの並列構造により、1台の装置で全てのPVDフィルム層を成膜することができます。この装置により、競合する装置に比べ、生産量を最大40%増加することが可能です。分離した真空トラックのコンセプト、および実績のある成膜チャンバと基板搬送メカニズムにより、一方の真空トラックで保守を行いながら、もう一方の真空トラックで製造を継続できるため、高い稼働率を達成します。