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Producer® Pyra® Anneal

CD (限界寸法)の縮小が進むにつれて、微細な構造のパターニングに必要な工程も増え、そのため複数のパターニング層の処理に対するニーズが生まれています。マルチパターニングスキームにおける、エッチングの選択性を向上するために、ターゲット処理はパターニング層を修正します。加えて、高アスペクト比のフィーチャの埋め込みのために、メタルリフロー技術が不可欠になりつつあります。これは、ライン抵抗を減らすためにボイドのない、より大きなグレインのメタル成長を促進させるために、メタル層の処理を行います。特に、配線寸法の微細化において大きな課題となっています。

Applied Producer Pyra熱処理システムは、アプライド マテリアルズのアニール製品群の最新製品です。この製品は、主にMOL/BEOLレイヤにおける低~中温の範囲でのアプリケーションを対象としています。高い生産性を誇るPyraシステムは、特に量産向けのソークアニールに向けて特別に設計されており、低ランニングコストと妥協のないデバイス性能で実績のあるProducerプラットフォームに搭載されます。

Pyraシステムのソークアニール処理の加熱力は、ウェーハ内およびウェーハ間で優れたアニール均一性を提供する、抵抗ヒーターをベースとしています。複数のTwin Chamber®テクノロジーを有するProducerプラットフォームは、研究開発段階におけるサイクルタイムの改善と、量産レベルにおける生産性を向上を実現します。