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多層膜成膜装置

フレキシブル・エレクトロニクス産業には、 SmartWebTM、SmartWebTM WF、TopBeamTMといった多岐にわたる装置によりソリューションを提供しています。タッチ・パネル・ディスプレイ向けには、高インデックス誘電体と低インデックス誘電体の「インデックス・マッチング」積層が反応性スパッタ法によって基板上に形成され、市場が要求する、TCO/ITOフィルム上の「不可視パターン」を形成します。自動車用のウィンドウ・フィルム向けには、酸化物と金属の積層が太陽からの熱負荷を軽減します。偽造防止及び装飾向けには、カラーシフト層を高速に成膜し、生産性を向上します。