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マテリアルの解析

チップメーカーは、パターンウェーハの検査、欠陥分類とレビュー、計測、統計的な解析をもとに、製造レシピを設計し、製造工程を通してプロセスや装置がプロセスウィンドウのパラメータに確実に沿うようにしています。広範なデータが収集、使用されており、プロセス技術がより複雑になるにつれて、さらに膨大なデータが収集され、統計的な手法や機械学習が、レシピの改善やチップ性能と歩留まりの向上に活用されます。

パターンウェーハ検査では、高速でウェーハをスキャンし、潜在的なパーティクル、パターン欠陥、その他、完成したダイの機能や性能を損なう可能性のある状況を特定します。電子ビームレビュー装置は、潜在的な欠陥を可視化し、特定することを可能にします。計測器によって得られたデータにより、デバイスと構造が精密な物理的寸法と電気特性を維持していることを保証します。

アプライド マテリアルズの検査、レビュー、計測技術は、、今日最も大きなチャレンジとなるマテリアル・デバイスエンジニアリングにおいて、より難しくなっている正確かつ完全な測定と画像化の実現をサポートします。これらの技術には、OPC(光近接効果補正)マスク検証、SADP(自己整合型ダブルパターニング)およびクアッドパターニングなどの先端技術が含まれています。先進のアルゴリズムと機械学習技術は、最先端の光学および電子ビーム技術と組み合わせることで、データ生成が向上します。実施することが可能な情報へのアクセスが加速されるため、チップメーカーは、市場投入までの期間を短縮し、量産における歩留まりの最適化が可能になります。

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