You are using a web browser version that is no longer supported. Please make sure you are using the most updated version of your browser, or try using our supported browser Google Chrome to get the full Applied Materials experience.
如今,高像素OLED和LCD显示面板制造业格外强调减少缺陷和工艺控制。应用材料公司的全球首个在线电子束检视(EBR)设备将半导体扫描电子显微镜(SEM)与AKT的大规模真空平台相结合。
自动工艺检测(API)和临界尺寸(CD)测量工具让客户面对最具挑战性的工艺控制规格时有一个精密平台。自动缺陷检测(ADR)模块根据自动光学检测(AOI)坐标记录缺陷,并在能量扩散X射线分析技术(EDX)的帮助下确定出现致命缺陷的根本原因。引入联机电子扫描显微镜(SEM)这一半导体良率提升方法,可使柔性有机发光(OLED)显示屏达到高成品率,并加快提升业界最大基板尺寸的液晶(LCD)显示屏的成品率。
目前用于显示面板缺陷检验的在线自动化光学缺陷检测工具,在区分致命与非致命缺陷或分析缺陷系统性根本原因方面,不及扫描电子显微镜(SEM)有效。在使用应用材料公司的电子束检视(EBR)设备之前,对显示面板进行SEM分析要打碎玻璃基板,然后在显微镜下单独检视每一块碎片。...
View product detail