APPLIED TOPBEAM^® 2450/2850系统

应用材料公司的高功率电子束蒸镀可以用于蒸镀多种不同的金属与氧化物。此工艺提供所有真空镀膜制程中最快的涂覆速度。为了达到精确的涂覆厚度均匀性，必须要有一个横向及纵向操作的闭环嵌入式控制系统。与先进的嵌入式测量系统相结合的ESCOSYS™系统就满足了这项要求。

• 独特的高功率电子束制程，适用于种类繁多的镀膜材料，如各种金属、多重膜层或诸如氧化硅等氧化物，涂覆宽度高达2,850毫米
• 适用于诸如包装应用的最优质透明阻隔膜层
• 获得专利的ESCOSYS™在线生产控制系统