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APPLIED TOPCOIL™系统

基于感应加热坩埚的蒸镀系统

TopCoil™平台让应用材料公司的感应加热坩埚技术蒸镀组合更加完善。这是一种针对要求低缺陷性能应用的解决方案,并且能够沉积多种材料。

  • TopCoil™系统利用感应加热坩埚,超越传统(食品)包装,适用于多种应用领域
  • 真正实现无针孔,无需在镀膜速度上作出让步,且改善了膜层均匀度
  • TopCoil™系统能够沉积多种金属和金属氧化物,包括铝、锌、银、铜、铬、硫化锌、氧化物等等
  • 创新的感应器设计使源头之间更加靠近且更少干扰
  • 速度高达14米/秒的稳定制程