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汲取超过35年的电子束和溅射卷对卷镀膜经验,TopBeam® 1100S系统结合了两种制程领域的优势:
应用材料公司的高功率电子束蒸镀可以用于蒸镀多种不同的金属与氧化物。此工艺提供所有真空镀膜制程中最快的涂覆速度。为了达到精确的涂覆厚度均匀性,必须要有一个横向及纵向操作的闭环嵌入式控制系统。与先进的嵌入式测量系统相结合的ESCOSYS™系统就满足了这项要求。
TopCoil™平台让应用材料公司的感应加热坩埚技术蒸镀组合更加完善。这是一种针对要求低缺陷性能应用的解决方案,并且能够沉积多种材料。
我们提供用于有机表面涂覆的两种先进氧化铝制程与选项
我公司真空金属镀膜机的特色是:在聚合物基膜和纸张上进行灰阶及图案化结构的在线图案镀膜,不仅减少一个工艺步骤,还可实现差异化包装。
TopMet系统的涂覆速度高达每秒20米,具有无与伦比的生产效率并获得众多设计奖项,代表着工程界真正的卓越性。应用材料公司在卷绕镀膜产品的研制方面具备60多年的经验,并已在世界各地安装了700多套系统,是卷对卷真空镀膜及金属化解决方案市场的领导者。