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应用材料公司制造一系列利用WEB卷对卷镀膜工艺的产品,用于批量生产柔性阻隔膜包装,包括在真空环境中将金属、氧化物或透明阻隔膜层沉积到最柔性的包装及电子基板上。这些工艺包括通过电加热陶瓷蒸发舟和感应加热坩埚进行蒸镀、电子束蒸镀或溅射沉积。
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应用材料公司的高功率电子束蒸镀可以用于蒸镀多种不同的金属与氧化物。此工艺提供所有真空镀膜制程中最快的涂覆速度。为了达到精确的涂覆厚度均匀性,必须要有一个横向及纵向操作的闭环嵌入式控制系统。与先进的嵌入式测量系统相结合的ESCOSYS™系统就满足了这项要求。
TopCoil™平台让应用材料公司的感应加热坩埚技术蒸镀组合更加完善。这是一种针对要求低缺陷性能应用的解决方案,并且能够沉积多种材料。
我们提供用于有机表面涂覆的两种先进氧化铝制程与选项
TopMet系统的涂覆速度高达每秒20米,具有无与伦比的生产效率并获得众多设计奖项,代表着工程界真正的卓越性。应用材料公司在卷绕镀膜产品的研制方面具备60多年的经验,并已在世界各地安装了700多套系统,是卷对卷真空镀膜及金属化解决方案市场的领导者。