外延生长

最后一项应用称为应变工程，其中外延膜在晶体管沟道的晶格中形成压缩应变或拉伸应变。应用材料公司的外延技术可满足所有这些应用的需求，生产出高度均匀的薄膜，精确放置掺杂原子，缺陷水平极低，并且具有选择性沉积的能力。