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Materials to Device Simulation

材料和器件的软件仿真是加快技术发展的关键。这项技术既有助于加速1学习1(即理解器件物理学和材料对于工艺改进的意义)过程,又能促进2材料/器件协同设计2(材料筛选、性能优化)。

由于器件尺寸的不断缩小、复杂3D几何结构的应用以及新材料的引入,使得半导体器件仿真变得日趋复杂。这些根本性变化给技术发展带来了严峻挑战:新现象纷纷登场——这些现象或是有损器件的可靠性,或是被有意地用于器件运行(例如离子迁移、相位变化、铁电性)——这要求我们必须采用新型多物理、多尺度仿真工具将电子器件的性能与材料属性联系起来。

因此,器件仿真已成为实现以下目的的必备手段:描述器件运行(学习);研究材料/几何形状/工艺波动如何影响器件的电气性能,包括可靠性和可变性(探索);以及对器件/技术进行优化(设计)。

应用材料公司MDLx™事业部(前身为MDLSoft)是一个致力于开发和部署应用材料公司材料-器件仿真软件Ginestra™的团队。