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現代高解析度 OLED 和 LCD 顯示器製造需要更重視缺陷減少和製程控制。應用材料公司世界首台製造線上電子束檢視 (EBR) 系統整合了半導體掃描式電子顯微鏡(SEM) 和 AKT 的大型真空平台。
自動製程檢查 (API) 和臨界線寬(CD) 測量爲客戶提供最具挑戰性的製程控制規格。自動缺陷檢查 (ADR) 模組具備精密平台,可根據 AOI 座標記錄缺陷,並藉助 EDX 確定致命缺陷的根本原因。引入製造線上掃描式電子顯微鏡的半導體良率方法,使柔性 OLED 顯示器實現高良率和可靠性,並大幅提升世界上最大的基板 LCD 的良率。
與掃描式電子顯微鏡相比,目前用於顯示器製造的線上自動光學缺陷檢測工具在區分致命缺陷和非致命缺陷,或確定缺陷系統性的根本原因方面有較差的有效性。在應用材料的電子束檢視 (EBR) 系統引入之前,對顯示器進行掃描式電子顯微鏡分析需要將玻璃基板打碎成碎片,...
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