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電子束檢視

現代高解析度 OLED 和 LCD 顯示器製造需要更重視缺陷減少和製程控制。應用材料公司世界首台製造線上電子束檢視 (EBR) 系統整合了半導體掃描式電子顯微鏡(SEM) 和 AKT 的大型真空平台。

自動製程檢查 (API) 和臨界線寬(CD) 測量爲客戶提供最具挑戰性的製程控制規格。自動缺陷檢查 (ADR) 模組具備精密平台,可根據 AOI 座標記錄缺陷,並藉助 EDX 確定致命缺陷的根本原因。引入製造線上掃描式電子顯微鏡的半導體良率方法,使柔性 OLED 顯示器實現高良率和可靠性,並大幅提升世界上最大的基板 LCD 的良率。