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AKT® 電子束檢視

先進的顯示技術需要越來越多的製程步驟,進而導致更多更小的污染和新型缺陷。

與掃描式電子顯微鏡相比,目前用於顯示器製造的線上自動光學缺陷檢測工具在區分致命缺陷和非致命缺陷,或確定缺陷系統性的根本原因方面有較差的有效性。在應用材料的電子束檢視 (EBR) 系統引入之前,對顯示器進行掃描式電子顯微鏡分析需要將玻璃基板打碎成碎片,並在顯微鏡下分別檢查每一塊。這不僅成本昂貴、浪費時間,而且難以將缺陷行為與最終的裝置性能關聯起來。應用材料透過提供業內最高解析度和產能的製造線上掃描式電子顯微鏡檢視,解決了這些限制,且不需要破壞面板。