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AKT® NEW ARISTO™ FULL DYNAMIC PVD 系統

AKT的直立式動態濺射系統 NEW ARISTO 具備業界最高的產能並達到最佳的薄膜均勻度效能。全自動化的裝卸料能力加上公司獲得專利的輸送系統,可顯著縮短生產周期。先進的旋轉靶技術使 NEW ARISTO 成為通過市場驗證的創新量產解決方案,可實現比傳統平面靶材更高的靶材利用率,並提供最高薄膜品質和微粒控制能力,且進一步提高良率。簡潔的模組門概念可實現最大靈活度的製程安排,讓投資更有保障。幾十年來,隨著規模經濟的發展,NEW ARISTO 已成為整個顯示器行業大尺寸彩色濾光片量產設備的基準與標竿。

NEW ARISTO 平台適用於所有世代線,其中包括最大的 11 代線的大尺寸電視面板量產產線。

可根據客戶的需求安排在製程中得到單層鍍膜如氧化銦錫 (ITO)、氧化銦鎵鋅 (IGZO) 以及多層光學氧化層。

此外,除 NEW ARISTO VR 系統概念之外,NEW ARISTO TWIN 系統的並行架構允許以單個系統來沉積所有的 PVD 膜層。該系統的產量比其他競爭對手的系統高出 40%。單獨真空軌道概念與已通過生產驗證的沉積反應室和基板輸送機制相結合,確保更長久的正常運作時間。在一側真空軌道進行維護的同時,另一側真空軌道仍可正常運行生產。