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AKT®-PX PECVD

應用材料的 AKT-PX 系列 PECVD 系統可在 1.6 - 5.7m2(5 代線至 8.5 代線)的玻璃基板上,沉積高度均勻的低溫多晶矽 (LTPS) 薄膜。LTPS 技術是一種已經得到驗證的方法,在主動矩陣有機發光二極體 (AMOLED) 和超高解析度薄膜電晶體液晶顯示器 (TFT-LCD) 中構造高性能電晶體陣列。

應用材料提供用於大面積玻璃尺寸的 LTPS 系統,使製造商能夠用每張基板生產出更多或更大的顯示器,有助於加速滲透到更大面板尺寸的行動裝置和電視機。

AMOLED 和先進的 TFT-LCD 顯示器的電晶體使用多晶矽,而非傳統 LCD 顯示器使用的非晶矽。多晶矽更高的電子遷移率讓控制每個像素的電晶體尺寸更小,且實現更迅速的轉換。這可製造出更低功耗、更亮、畫質更好的顯示器,正符合行動應用對圖像品質和電池壽命的嚴格要求。