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Enflexor® TFE 系統

電漿輔助化學氣相沉積 - 薄膜封裝 (PECVD-TFE) 系統 Enflexor® Gen 6H PECVD 可沉積卓越的阻隔薄膜,實現柔性有機發光二極體 (OLED) 面板技術。Enflexor Gen6H 具備帶有自動遮罩交換功能的遮罩沉積技術,可提高產量。Enflexor Gen6H 提供一系列緩衝薄膜,有助於實現全方位一體化系統處理能力。而良率效能管理則帶來通往量產的捷徑。該系統可輕鬆與其他 OLED 工具整合。