skip to main content

選擇性製程

選擇性製程

複雜的圖案化方案、更高的寬高比、更小的導孔和通道、更脆弱的結構、以及越來越高的圖案塌陷風險,正在加速市場從塊材工程轉型至選擇性製程的趨勢。

選擇性製程使用特別設計的化學品與材料相互作用,以便精密、準確地沉積及去除目標材料。選擇性沉積是原子級的加法製造,僅將原子放在需要的地方。選擇性去除是原子級的減法製造,僅去除不需要的原子-即使是那些不在視線內的原子-且其餘原子也會保留在原位。選擇性蝕刻與沉積技術可用於建立並塑造微小的圖案;製造新穎的結構;並克服了技術障礙,例如濕製程導致的圖案塌陷、圖案化過程中的邊緣放置誤差、以及電晶體接點與導線電阻的相關 2D 微縮問題。

Oct 18 2021

Innovations in eBeam Metrology Enable a New Playbook for Patterning Control

Read full story

Oct 13 2021

Breakthrough in Metrology Needed for Patterning Advanced Logic and Memory Chips

Read full story

Sep 08 2021

The Fourth Era of Computing Needs More than Advanced Logic and Memory Chips

Read full story